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离子泵的工作原理及抽气作用

发布时间:2015年12月21日 09:22   阅读:5067   返回   来源:泽德
  离子泵能将真空室抽到超高真空范围内。在离子泵起动前,真空室的压强需达到中真空范围的下限(~10-2托)。通常,采用吸附泵来产生要求的中真空。离子泵一旦起动,可在无其它泵协助的情况下工作。
  离子泵的工作原理,在2个平面阴极之间是一个蜂窝状的阳极结构。所加磁场垂直于阴极板,并平行于蜂房的轴。电子围绕磁力线作螺旋运动,使气体分子电离,电离产生的电子接着使其它气体分子电离。在碰撞过程中,电子交出能量,并逐渐向阳极移动。正离子则加速向由钛制成的负极移动。离子与钛互作用,至少发生3种抽气作用。
  (1)离子使钛阴极材料溅射出来,它沉积并作为吸收膜,吸收活性气体(比如氮气、氧气和氢气)。
  (2)有一些能量足够大的离子,能够埋藏在电极表面内,它们通过离子注植入被吸附。这个过程对所有类型的离子,包括稀有气体或惰性气体都是有效的。
  (3)使用三极管离子泵来增加泵对惰性气体抽气能力是可能的,因为从阴极飞溅出的钛可将气体原子埋在靶子电极上。

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