新闻中心 news center
当前位置:威尼斯正规官网 > 新闻中心 > 行业动态 > 正文
产品目录

涡旋干式真空泵的工作原理与结构

发布时间:2015年12月19日 09:35   阅读:6323   返回   来源:泽德

涡旋干式真空泵的工作原理与结构

  涡旋干式真空泵的结构简单,零部件少;间隙小、泄漏率小,具有较高的压缩比,在较宽压力范围内有稳定的抽速;由于压缩腔内容积的变化是连续的,因而驱动力矩变化小,功率变化小;振动噪声小,可靠性高。

  由于涡旋泵的上述优点,涡旋泵在一些发达国家已经逐步代替了油封式机械泵。目前涡旋泵主要应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。

  由于涡旋泵加工制造比较困难,再加上自身型线的特点,涡旋泵的抽速最大的也不超过10L·S-1 ,抽速最小的在1L·S-1左右,抽速大于4L·S-1的涡旋泵全部采用双侧涡旋结构,而抽速小于4L·S-1的泵多采用单侧涡旋结构。在实际应用中用量最大的是抽速为8L·S-1涡旋泵。

  涡旋型线参数相同、相位角差π、基圆中心相距r (r的取值与渐开线节距及壁厚有关)的动涡旋盘与静涡旋盘组装后,可以形成数对封闭的月牙腔。当偏心轴推动动涡旋盘中心(即基圆圆心)绕静涡旋盘中心(即基圆圆心)做半径为r的圆周轨道运动时,这些封闭月牙腔容积相应地扩大或缩小,由此实现气体的吸人、压缩和排气的目的。低压气体从静涡旋盘上开设的吸气口进入吸气腔,经压缩后由静涡旋盘中心处的排气口排出。

  涡旋泵的气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙腔内压缩,涡旋定子固定在机架的周边上,在涡旋定子的周边上开设有吸气口,在转子和定子涡旋体中心部位开设有排气口。涡旋转子随着曲轴的回转以偏心量r为半径绕定子中心做公转运动。涡旋转子还受防自转机构的约束,不能自转,始终保持着一种固定的姿态,其中心绕涡旋定子中心作半径为r的圆周运动。

返回顶部 | 返回列表

全国客服热线:400-028-6266

E-mail:zehnder@zehnder-pump.com

官网网址:

移动端:http://m.zehnder-pump.com/

关注泽德微信
关注泽德微博

Copyright © 2014 威尼斯正规官网-威尼斯官方网站-首页登录产品:威尼斯正规官网 污水提升泵 污水提升装置 www.zehnder-pump.com all rights reserved.

蜀ICP备13007897号-6

XML 地图 | Sitemap 地图